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开元体育三星申请半导体器件专利该半导体器件包括基板、有源区、栅极结构等

发布日期:2024-04-30 10:07 浏览次数:

  开元体育三星申请半导体器件专利该半导体器件包括基板、有源区、栅极结构等金融界2023年12月22日消息,据国家知识产权局公告,三星电子株式会社申请一项名为“半导体器件“,公开号CN117276341A,申请日期为2023年6月。

  专利摘要显示,本发明提供一种半导体器件,该半导体器件包括:基板;有源区,在基板上在第一方向上延伸;栅极结构,在基板上在第二方向上延伸并包括栅电极;源极/漏极区开元体育官方网站,提供在有源区上在栅极结构的至少一侧;层间绝缘层,覆盖栅极结构;第一接触结构,在栅极结构的至少一侧连接到源极/漏极区;以及栅极接触结构,至少部分地穿过层间绝缘层并连接到栅电极,其中栅极接触结构包括:第一层,包括导电材料;第二层,提供在第一层上,通过第一层与层间绝缘层间隔开开元体育官方网站,并包括第一杂质;以及第三层,提供在第二层上并包括第二杂质。

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