开元体育网址晶合集成获得发明专利授权:“半导体器件的制作方法以及半导体器件”证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体器件的制作方法以及半导体器件”,专利申请号为CN0.0,授权日为2024年4月26日。
专利摘要:本申请提供了一种半导体器件的制作方法以及半导体器件。该方法包括:首先,提供基底,基底包括衬底以及衬底表面上间隔设置的多个栅极结构;然后,在栅极结构的远离衬底的部分表面上形成牺牲层,且在衬底的靠近栅极结构的部分表面上形成牺牲层;最后,在栅极结构以及衬底的裸露表面上形成阻挡层,并去除所有的牺牲层开元体育官方网站。通过在栅极结构的远离衬底的部分表面上形成牺牲层,保证了在部分栅极结构之间的衬底上没有阻挡层,避免了现有技术中部分栅极结构之间的衬底表面上的阻挡层漏电,从而导致半导体器件产生失效的问题,保证了半导体器件的失效概率较小,保证了半导体器件的鲁棒性较好开元体育官方网站,从而保证了半导体器件的性能较好。
今年以来晶合集成新获得专利授权108个,较去年同期增加了134.78%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了10.58亿元,同比增23.39%。
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